高純氣體中央供氣系統是專爲高精度分析測試設備所用高純工作氣體的傳輸而設計，系統需要爲分析設備提供壓力、流量穩定且經(jīng)過(guò)長(cháng)距離傳輸後(hòu)純度不變的高純氣體以滿足各種(zhǒng)高精度分析設備的使用要求。系統同時(shí)還(hái)應該滿足安全性的要求，并方便客戶的日常使用及管理。

1．由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃氣體，按國(guó)家規定必須分庫存放。分别放入不同的氣瓶間内。 

2．氣瓶間内設立一次調壓面(miàn)闆，其中二托一面(miàn)闆帶吹掃銅鍍鉻面(miàn)闆4套。

3．壓力調節器入口前需加裝燒結金屬過(guò)濾器以防止顆粒等雜質污染系統。

4．所有面(miàn)闆均配備吹掃閥，可實現對(duì)面(miàn)闆的清洗置換。

5．壓力調節器及相關管件均需牢固的固定在壓力調節面(miàn)闆上，面(miàn)闆應設計的緊湊而合理，以盡量減少系統中的死體積。

6．壓力調節面(miàn)闆應采用全不鏽鋼材料制成(chéng)，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。

7．氣瓶間内存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶支架堅固耐用、美觀大方。氣瓶支架采用鋁合金制作而成(chéng)。

8．氣瓶間内的氣體鋼瓶與壓力調節器之間采用SS316L高壓金屬軟管連接無滲透。高壓軟管爲柔性軟管，以保證連接的方便性。并自導防護鋼纜，預防極端情況下，鋼瓶閥損壞等現象帶來的高壓“抽鞭”事(shì)故。壓力調節器與管道(dào)的連接方式爲雙環卡套。

9．高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與鋼瓶角閥的規格相匹配，以确保連接的可靠性。

10．排空氣路應分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點。

1．系統設置爲二次減壓系統。終端采用壁挂式設計。上設有壓力調節器、輸出壓力指示計、緊急切斷閥，同一氣路的呈上下對(duì)應排布，方便操作。面(miàn)闆爲不鏽鋼産品，具體位置參見圖紙，具體配置情況如下：■壁挂式終端标準型26套注：該終端可以實現在室内對(duì)設備的壓力調節、輸出壓力的監控及氣路開(kāi)關控制，省去了每日往返于氣瓶間和實驗間的奔波，提高了辦事(shì)效率。

2．控制終端上的氣體出口尺寸要與分析儀的氣體入口尺寸相對(duì)應。氣體出口接頭還(hái)應方便安裝。

1．氣瓶間内壓力調節面(miàn)闆與實驗室内的氣路終端之間選用SS316LBA管進(jìn)行連接，管道(dào)内表面(miàn)光潔度爲Ra<0.4umBA級管道(dào)。

2．4N氮氣主管線采用OD3/8”（6.35mm）的管道(dào)，0.5Mpa壓力下流量可達8M3/小時(shí)，完全滿足常規用氣需求，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道(dào)。用焊接三通分出支路來對(duì)設備進(jìn)行供氣。

3．5N氮氣、氦氣、預留氣主管線采用OD1/4”（6.35mm）的管道(dào)，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道(dào)。用焊接三通分出支路來對(duì)設備進(jìn)行供氣。

4．管道(dào)穿過(guò)障礙物時(shí)須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。

5．管道(dào)之間采用最先進(jìn)的美國(guó)全自動定位軌道(dào)式氩弧焊機進(jìn)行内外保護氩弧焊（TIG）方式連接，其優點是洩漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會(huì)再内表面(miàn)産生氧化層或褶皺等焊接缺陷。

6．管路上的三通全部采用焊接三通來實現連接，可更有效保證氣體的傳輸質量。

7．管道(dào)需用固定卡具固定在管道(dào)支架上。管道(dào)支架爲槽鋼結構美觀大方。與牆體和管道(dào)固定牢固。且爲耐火材料（鋁合金）制成(chéng)。

8．氣體管路在鋪設過(guò)程中要做到橫平豎直，爲保證管道(dào)走線的直線度和管道(dào)間的間距，每間隔一定距離應設置一組管卡。卡具應由不燃材料制作而成(chéng)，美觀大方。

9．應盡量減少彎曲以防止被傳輸的氣體壓力、流量損失過(guò)大。壓力管道(dào)拐彎應力集中區應有安全加固，設計合适的拐彎半徑，彎曲部位不能(néng)有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質量由專用工具保證。系統布線應盡量減少接縫以降低洩漏的可能(néng)性。

10．配管時(shí)的每根管道(dào)每個管件均要用高壓的5N高純氮氣進(jìn)行吹掃才能(néng)接入系統，整個系統安裝完畢後(hòu)還(hái)要用5N的高純氮進(jìn)行大流量氣體吹掃，以确保系統的潔淨度即流出的氣體無油脂及明顯的固體顆粒物流出。

11．系統安裝完畢後(hòu)要用高純氮氣進(jìn)行高壓部分、低壓部分氣密性實驗，對(duì)整個系統進(jìn)行檢測。

12．壓力調節面(miàn)闆和氣路控制終端上粘貼氣路編号、氣體種(zhǒng)類、濃度等标識。